新加坡ACCULEX显微镜设备IMH
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公司简介
ACCULEX Solutions Pte Ltd成立于1999年,总部位于新加坡,专注于工业检测与精密测量设备的研发与生产。公司在新加坡及马来西亚马六甲设有研发中心,致力于为半导体、电子制造及精密加工领域提供高效测量解决方案,并通过ISO 9001:2015质量管理体系认证。
产品类型
ACCULEX主要产品涵盖以下类别:
1、光学检测与计量设备
2、自动测量与轮廓系统
3、自动化集成设备
4、晶圆传输与检测设备
5、显微镜及光学配件
主要型号
1、IMH Integrated Measuring Microscope
2、WLO x00 Automatic Wafer Lifter/Inspection Machine
3、PLU x00 Programmable Wafer Inspection Station
4、MCL x50 Wafer Transfer Machine
5、DZ2IRV-IRT Infrared Zoom Microscpe
产品介绍
一、IMH Integrated Measuring Microscope
1、功能:非接触式高精度深度测量,集成于生产线使用。
2、技术参数:
3、测量精度:±0.5μm
4、放大倍率:50X~200X(可选配置)
5、光源:LED冷光源
6、工作原理:基于光学分割法,通过分划板对准实现高度、深度及表面形貌测量,支持实时观测。
二、WLO x00 Automatic Wafer Lifter
1、功能:晶圆自动搬运与表面缺陷检测。
2、技术参数:
3、兼容晶圆尺寸:6英寸至12英寸
4、定位精度:±10μm
5、工作温度:10°C~40°C
优势特点
1、高精度测量:采用光学分割技术,满足微米级检测需求。
2、紧凑设计:模块化结构便于集成至生产线设备。
3、多场景兼容:支持半导体、电子元件及精密加工领域应用。
4、操作简化:直观界面降低操作门槛,提升检测效率。
5、稳定性强:工业级部件设计,适应长时间连续作业。
主要应用
1、半导体制造:晶圆厚度测量、表面缺陷检测。
2、精密加工:微型零件台阶高度、孔径尺寸检测。
3、电子元件检测:PCB焊点高度、封装平整度分析。
4、科研实验:材料表面形貌观测与数据采集。
5、光学器件生产:透镜曲率、镀膜层厚度测量。
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