代理德国Thyracont热阴极真空计VSH88赫尔纳供应
公司简介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德国Thyracont真空仪器有限公司）是一家源于德国的真空测量设备制造企业。该公司始于1970年，致力于真空测量技术的开发和生产，其业务涵盖真空传感器、真空计、真空开关、控制器及相关真空组件的供应，并为真空泵和真空处理设备制造商提供产品。Thyracont的产品应用于流程工业、涂层、分析与研发以及半导体和太阳能等多个领域。
Thyracont主要产品类型
1. 真空计 (Vacuum Gauges)
2. 真空传感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空开关 (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 数字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空变送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系统控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空组件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型号
1. VSH88 系列 (超高真空计，含VSH88D, VSH88DL, VSH88E等型号)
2. VD8系列 (便携式数字真空计，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (其他超高真空计，如VSH87, VSH89)
4. VD6 (单通道真空显示与控制单元)
5. VD12 (双通道真空显示与控制单元)
6. VRC (电子真空开关)
7. Smartline系列 (数字真空变送器)
8. VD800 (紧凑型真空计)
代理德国Thyracont热阴极真空计VSH88产品介绍
VSH88是Thyracont公司生产的一款组合了皮拉尼（Pirani）和热阴极（Bayard-Alpert规）原理的智能数字真空计/变送器，属于其Smartline产品线，用于从粗真空到超高真空（UHV）范围的绝对压力（Absolute Pressure） 测量。
技术参数
特性 | 参数值 |
测量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 热阴极（Bayard-Alpert规）（依据气体不同） |
测量范围 | 1000 – 5×10⁻¹⁰ mbar (1000 – 0.0000000005 mbar) / 750 – 5×10⁻¹⁰ Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 读数、10-1×10⁻⁸ mbar: <10% 读数 |
重复性 | ±2% (10-1×10⁻² mbar)、±5% (1×10⁻²-1×10⁻⁸ mbar) |
响应时间 | < 200 ms (开关BA发射电流时是2秒) |
输出信号 | VSH88D: 0-10 VDC (对数输出) & RS485; VSH88DL: 同D型，带LCD显示； VSH88E: RS485 和 EtherCAT |
供电电源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 40 ISO-KF |
接触真空材料 | 不锈钢 1.4307, Ni, W, Pt, 钇涂铱, 玻璃 |
过载保护 | 可达 4 bar (绝对压力) |
工作温度 | +5 °C 至 +60 °C |
烘烤温度 | 法兰（电气分离）上的温度180℃ |
防护等级 | IP54 (VSH88E) / IP40 (VSH88D/DL) |
电气连接 | VSH88D/DL: Sub-D, 15针; VSH88E: M12圆形接头 |
重量 | 约 555 g |
工作原理
VSH88采用了组合传感器技术，集成了皮拉尼（Pirani）传感器和热阴极（Bayard-Alpert规）传感器。皮拉尼传感器基于气体导热原理，适用于中低真空范围（从大气压至约10⁻³ mbar），其测量结果会受气体类型影响。热阴极传感器（Bayard-Alpert规）基于热阴极发射电子使气体分子电离的原理，适用于高真空和超高真空范围（从10⁻³ mbar延伸至5×10⁻¹⁰ mbar），其测量结果同样受气体类型影响。内置的微处理器自动控制两个传感器之间的切换与协同工作（Pirani传感器可保证热阴极在低压时的正常操作，并有助于延长其使用寿命），从而实现从大气压到超高真空的宽范围连续测量，并提供经过处理和补偿的信号输出。
优势特点
1. 极宽的测量范围与自动管理：结合皮拉尼和热阴极两种原理，实现了从1000 mbar到5×10⁻¹⁰ mbar的极宽量程覆盖。微处理器自动管理两个传感器间的交互，Pirani传感器有助于优化热阴极传感器的工作并延长其使用寿命。
2. 结构设计与材料选择：采用金属密封的不锈钢测量元件和金属外壳，适用于高真空（UHV）和超高真空应用。热阴极部分采用涂钇铱丝（Bayard-Alpert规），有助于稳定性和耐久性。
3. 接口丰富与功能集成：提供多种输出接口选择，包括模拟量（0-10V）、RS485数字接口，以及EtherCAT现场总线（VSH88E），便于连接PLC和控制系统。提供两个独立的继电器开关点，可用于过程控制或报警。部分型号配备LCD显示，用于状态指示。
4. 维护与校准便利：传感器探头设计为可更换式。支持通过前面板按键或软件接口调整零点和大气压，并可为不同气体设置校正因子以校准压力读数。
主要应用
VSH88真空计可应用于多个需要宽范围真空测量与控制的领域，尤其是涉及高真空和超高真空的工艺过程，例如：
1. 分析仪器：用于电子显微镜、质谱仪等精密分析仪器中真空度的监控。
2. 镀膜与气相沉积系统：用于物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等镀膜工艺过程中真空度的监控与控制。
3. 真空炉与热处理：用于高温真空炉、材料烧结或合成设备中的压力监控。
4. 超高真空测量与控制：任何需要监测或控制从粗真空到超高真空范围的场合，例如空间模拟。
5. 过程工程：用于半导体制造、太阳能电池生产等流程工业中涉及高真空过程的设备。
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