代理德国thyracont皮拉尼真空计
大连力迪流体控制技术有限公司作为thyraconts代理，诚挚为各位提供德国thyracont全系列产品。
一、Thyracont品牌核心优势
德国Thyracont成立于1970年，50余年专注真空测量技术创新，以高精度、耐用性及智能化为核心竞争力。其产品融合传统工艺与现代技术，例如的微型Pirani螺旋丝和宽量程组合传感器，已成为行业标准。
代理德国thyracont皮拉尼真空计真空表优势：
•具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本
•响应速度快，精度高
•防护等级高可达IP54
•法兰处耐温度，高达160摄氏度
•输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接
Ø 磁控溅射镀膜设备以及离子镀膜设备所需的超高真空度范围，thyracont的VSM冷阴极和VSH热阴极复合真空规
l VSM 1000到5*E-9mbar（5*E-7Pa） 皮拉尼/冷阴极
1. 磁控溅射是一种物理气相沉积技术，利用磁场和电场约束电子，提高溅射效率。磁控溅射的工作过程，比如氩离子轰击靶材，溅射原子沉积到基片上形成薄膜。其中，在真空腔室（通常抽至1*E-5mbar(1*E-3Pa)量级）中通入氩气。
a) 通常会使用皮拉尼冷阴极复合规。
l VSH 1000到5*E-10mbar（5*E-8Pa） 皮拉尼/热阴极
1. 离子镀膜设备是基于物理气相沉积（PVD）技术的高精度表面处理设备，通过等离子体环境中的离子轰击实现膜层沉积，广泛应用于工具、装饰、电子、光学等领域。
2. 磁控溅射需本底真空≤5×10⁻⁶ Torr（≈6.67×10⁻⁴ Pa）以避免油蒸气污染
3. 半导体/光学镀膜（如晶圆封装、滤光片）
a) 真空度：晶圆封装需<5×10⁻⁷ mbar（≈5×10⁻⁵ Pa），光学镀膜需<1×10⁻⁶ Pa
b) 目标：纳米级膜厚精度（±1%），避免气体吸附导致的光学损耗
c) 通常会使用皮拉尼热阴极复合规
各品牌产品对比
型号 | Thyracont图拉特 VSM77 | 英福康 MPG4XX | 莱宝 PTR90RN | 爱德华 WRG200 |
测量范围 | 1000---5e-9mbar | 1000mbar---5e10-9mbar | 1000---1e-8mbar | 1x10⁻⁹ to 1000 mbar |
精度 | 1000 ... 10 mbar: approx. 30% f. reading 10 ... 2.0x10-3 mbar: 10% f. reading 2.0x10-3 ... 1.0x10-8 mbar: 25% f. reading | 30%reading | 100 to 1000 ±25% of reading 1e-3 to 100 ±5% of reading 5e-4 to 1 e-3 ±10% of reading 1e10-8 to 1 e10-3 ±30% of reading | <30% ：1x10⁻⁹ to 1x10⁻3³ <15% ：from 1x10⁻3³ to 10mbar |
| 常用的范围内thyracont精度要高于其他品牌 |
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