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丹麦 Sens4 陶瓷隔膜真空传感器 VCM-1 采用干式氧化铝陶瓷隔膜，量程 0.1–1333 mbar，响应时间低于 20 ms，316 不锈钢过程法兰配 Viton® 密封，4–20 mA 或 0–10 VDC 输出，可选固态继电器设定点。赫尔纳供应，德国总部直接采购，近 30 年进口工业品经验，原装产品，支持选型，提供一对一解决方案。

制造商简介

Sens4 A/S 是丹麦真空与压力测量仪器制造商，2017 年 6 月由 Ole Wenzel 创立，公司位于丹麦 Hellebæk（Nordre Strandvej 119G）。创始人此前在 MKS Instruments 旗下 MKS Denmark 任总经理 14 年，并于 1993 年研制出基于 MEMS 的热导皮拉尼真空计。Sens4 以 MEMS 真空传感与 SmartPirani™ 数字信号处理技术为基础，产品覆盖真空变送器、精密压力变送器与温度变送器，服务半导体、光学镀膜、平板显示、材料科学与制药冻干等行业。产品标注 Made in Denmark。

产品类型

Sens4 真空与压力测量产品线主要包括：

· 陶瓷隔膜真空传感器：VCM-1 系列，0.1–1333 mbar 粗真空段

· MEMS 皮拉尼真空计：VPM-5 系列，SmartPirani™ 技术

· 组合真空计与控制器：VDM-2 系列，多路设定点与数字接口

· 精密压力变送器：模拟与数字输出

· 温度变送器：工业与科研用温度测量

· 真空控制与配件：S4-Connect™ 编程器、挡板与涂层防护件

丹麦 Sens4 陶瓷隔膜真空传感器主要型号

以下型号来自 Sens4 VCM-1 产品页订货表：

· VCM-1-10624101：DIN 3852 G1/4″，0–1000 mbar 绝压，4–20 mA，无继电器，M12 接头

· VCM-1-81624101：DN16KF 法兰，0–1000 Torr 绝压，4–20 mA，无继电器，M12 接头

· VCM-1-81621111：DN16KF 法兰，0–1000 Torr 绝压，0–10 VDC，1 路继电器，M12 接头

· VCM-1-80221101：DN16KF 法兰，0–200 mbar 绝压，0–10 VDC，无继电器，M12 接头

· VPM-5-1010101：DN16KF，标准传感器，RS-232/RS-485，mbar 或 Torr，标准模拟输出，1 设定点继电器，9 针 D-sub

· VDM-2-1011432 / VDM-2-1011332：DN16KF，陶瓷传感器，RS-232，0–10V 1000T 或 100T 输出，3 设定点继电器，15 针 HD D-sub

· VDM-2-4011432 / VDM-2-4011332：VCR4F 法兰，陶瓷传感器，RS-232，0–10V 1000T 或 100T 输出，3–4 设定点继电器

· VDM-2-10114111：MKS 902B 替代型号（P/N 902B-111111），DN16KF，RS-232，0–10VDC 1000T，1 设定点继电器

产品概述

VCM-1 为陶瓷压阻式真空变送器，氧化铝陶瓷隔膜受压形变后由压阻桥路转成电信号，传感元件为干式结构，无油填充。模块化紧凑壳体配 316 不锈钢过程法兰与 Viton® 内部密封，接触介质的部位为 316 不锈钢、Viton® 与氧化铝陶瓷（Al2O3）。

产品页规格表披露的关键口径：

· 量程：0.1 至 1333 mbar（0.1 至 1000 Torr）

· 测量原理：陶瓷隔膜压阻式

· 精度：100–1333 mbar 为读数的 0.5%；1–99.9 mbar 为满量程的 0.05%（以 1333 mbar 为基准）

· 迟滞：0.1–10 mbar 为 1%；10–1200 mbar 为 0.1%（ISO 19685:2017）

· 模拟输出分辨率：16 bit（150 μV）

· 模拟输出更新率：560 Hz

· 响应时间：< 20 ms（ISO 19685:2017）

· 温度补偿：+10 至 +50 °C

· 设定点继电器范围：1 至 1333 mbar，触点容量 50 V / 100 mA rms・ADC

· 工作与介质温度：-20 至 +50 °C；存储 -40 至 +80 °C；非工作烘烤 +80 °C

· 最大介质压力：2 bar 绝压；爆破压力 4 bar 绝压

· 安装方向：任意

· 防护等级：IP40（EN 60529/A2:2013）

· 供电：12–30 VDC，功耗 240 mW（max），带反接与过压保护，内部 100 mA 可自恢复保险

· 外壳材料：SS 1.4307 / AISI 304L / 铝 6061；过程法兰 SS 1.4401 / AISI 316

· 过程漏率：< 1×10⁻⁹ mbar·l/s

· 认证：CE（EMC 2014/30/EU）、RoHS（EU 2015/863）

标定数据存放在内部非易失存储器中，每台出厂单独测试、标定并做温度漂移补偿。选型需按实际工况复核防护等级：产品页正文表述为 IP67 密封壳体，规格表口径为 IP40，以规格表为采购依据。

优势特点

· 干式陶瓷隔膜：无油填充结构，隔膜破损也不会把油带入真空腔，冻干与包装线不必为油污染做额外防护。

· 0.1–1333 mbar 单台覆盖：从粗真空到中真空一段量程覆盖，替代原先分段选型的多台仪表。

· < 20 ms 响应 + 560 Hz 更新：压力快速变化与抽气 / 放气切换过程能跟上，适合前级保护与过程联锁。

· 耐腐蚀介质组合：316 不锈钢法兰 + Viton® + 氧化铝陶瓷接触面，可选 Parylene 涂层版本应对酸性气体与溶剂。

· 模拟输出 + 固态继电器：4–20 mA 或 0–10 VDC 直连 PLC，可选设定点继电器做上下限报警与开闭控制，S4-Connect™ 通过供电线做数字化整定与标定。

主要应用

· 制药与食品冻干：冻干机冷阱与干燥腔的粗真空测量与控制，按设定点联动真空泵与放气阀。

· 真空包装：封口前腔体真空度检测，保证残氧量一致，避免包装鼓包与氧化。

· 分子泵前级保护：前级管路压力监视，超限触发联锁，防止分子泵在高背压下受损。

· 真空热处理炉：淬火、回火、钎焊过程的真空度测量，可选挡板与涂层防护件应对粉尘与金属蒸气。

· 手套箱与金刚石 MOCVD：惰性气氛箱体与沉积腔的压力控制，保证腔体环境稳定。

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