| 德国Technologie-Manufaktur显微镜分辨率测试板 TC-RT03 |
| 点击次数:38 更新时间:2025-11-24 |
产品概述 德国Technologie-Manufaktur公司生产的TC-RT03 MAT是一款高精度的显微镜分辨率测试板,主要用于校准、验证和评估各类光学显微镜(如广角镜、激光扫描显微镜等)的分辨率、对比度和成像性能。其核心采用先进的电子束光刻技术制造,确保了纳米级别的结构精度,是光学实验室和质量控制中的基准工具。
核心技术与优势
超高精度制造:采用电子束光刻技术直接在铬层上烧蚀生成测试结构,最小结构尺寸可低至100纳米,确保了佳的尺寸公差(低至14纳米)和结构边缘的直线度。
优异的光学性能:
基底材料:使用石英(熔融二氧化硅),提供从深紫外到近红外(190nm - 2000nm)的极宽光谱透射范围,适用于多种光源。
高对比度:铬层提供了高的光密度,通过烧蚀形成的测试结构是透明的,而背景是不透光的铬层,从而产生极其锐利的高对比度图像。
坚固耐用的设计:测试芯片被牢固地封装在一个激光雕刻的不锈钢支架(75mm x 25mm) 中,符合标准显微镜载玻片尺寸,便于操作和保存。 主要技术参数
参数项目 规格说明 产品型号 TC-RT03 MAT 有效基底 石英晶圆(熔融二氧化硅),尺寸:10mm x 10mm x 1.0mm 封装支架 不锈钢,尺寸:75mm x 25mm x 1.5mm 结构层 铬层,高光密度 (>3.6 @ 1µm) 关键结构 可变线对(最高可达3300 LP/mm以上)、针孔阵列(20x20)、棋盘格、边缘MTF区域 制造工艺 电子束光刻 光谱范围 190纳米 - 2000纳米 可选配置 0.17mm ± 5µm 盖玻片(专用于高倍物镜) 主要应用领域
显微镜校准与分辨率测试:精确测量光学显微镜在不同放大倍数(从10x到100x物镜)下的极限分辨率。
成像系统性能评估:用于评估包括激光扫描显微镜在内的各种成像系统的调制传递函数(MTF)、对比度和像差。
科学研究与质量控制:在生命科学、材料科学、半导体检测等领域,作为验证仪器性能和确保测量一致性的标准件。
品牌与产品线 德国Technologie-Manufaktur 是一家在精密光学领域享有盛誉的制造商。除了高精度的分辨率测试板(定位板)外,其产品线还包括:
传感器
摄像头
远程显微镜
总结 Technologie-Manufaktur的TC-RT03 MAT分辨率测试板集成了顶尖的制造工艺和优质材料,为光学成像领域提供了可靠且高精度的测量基准。无论是用于前沿科学研究还是严格的工业质量控制,它都是确保显微镜系统处于最佳工作状态的理想工具。 |