| inficon真空计是种高精度测量设备 |
| 点击次数:19 更新时间:2025-11-25 |
inficon真空计作为一种高精度的测量设备,在科研、工业生产等领域有着广泛的应用,采用整个陶瓷涂敷的传感器单元用于高腐蚀性的应用,适用于恶劣的工作环境。 inficon真空计的基本工作原理: 1.皮拉尼热导原理:以常见的PSG系列为例,它属于皮拉尼真空计的一种。工作时先加热电阻丝,使其升温至需要的工作温度。由于气体粒子与电阻丝碰撞后离开时会带走能量,导致电阻丝的温度发生变化。而热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系。具体又分为两种方式,一种是稳定温度,测量施加的电压变化来等效测量真空度;另一种是稳定电压,测量温度变化来等效测量真空度。通过这种方式实现对真空度的间接测量。 2.电容薄膜规原理:如PCG系列的电容薄膜规,是基于压力使膜片变形,且变形量与压力大小成比例的关系来进行测量的。当被测真空环境中的压力作用于陶瓷膜片时,膜片会产生相应的形变,通过测量这个形变量就能够得知当前的真空度数值。 inficon真空计的测定步骤: 1.安装与连接 -真空连接:根据具体的型号和接口要求,将真空计正确地连接到被测系统的真空管道上。例如,某些型号可能需要拆卸磁铁单元(仅适用于带CF法兰的真空计)来进行安装。确保连接处密封良好,防止漏气影响测量准确性。 -电连接:完成真空连接后,进行电气线路的连接。按照说明书的要求,将真空计与相应的控制器或其他测量仪器连接起来,保证电源供应稳定且符合设备规定的电压、电流等参数。 2.开机预热与稳定:打开电源开关,此时真空计开始工作。在施加电源电压时会有测量信号产生,需要允许至少10分钟的稳定期,让设备内部的元件达到稳定的工作状态,以确保后续测量结果的准确性。 3.读取数据:当设备稳定后,即可从显示屏或通过连接到的其他数据采集装置上读取真空度的数值。不同类型的INFICON真空计可能采用不同的传感器原理来测量真空度,如电容膜片式、皮拉尼式等,但都是以直观的数字形式展示当前的真空状况。 4.记录与分析:在测量过程中,及时记录不同时刻的真空度数据,以便后续对数据进行分析和处理。如果需要进行多次测量或长期监测,应按照一定的时间间隔进行记录,并注意观察数据的波动情况,判断是否存在异常。 |